Đặc trưng:

1) Tốc độ thấm nitơ nhanh hơn, chu trình thấm nitơ có thể được rút ngắn một cách thích hợp và thời gian thấm nitơ ion có thể được rút ngắn xuống còn 1/3-2/3 thời gian thấm nitơ khí.

2) Độ giòn của lớp thấm nitơ nhỏ, lớp trắng hình thành trên bề mặt thấm nitơ plasma rất mỏng, thậm chí không có. Hơn nữa, biến dạng do lớp thấm nitơ gây ra rất nhỏ, đặc biệt phù hợp với các chi tiết chính xác có hình dạng phức tạp.

3) Tiết kiệm năng lượng và tiêu thụ amoniac. Mức tiêu thụ điện năng bằng 1/2-1/5 so với phương pháp thấm nitơ bằng khí và mức tiêu thụ amoniac bằng 1/5-1/20 so với phương pháp thấm nitơ bằng khí.

4) Dễ dàng thực hiện thấm nitơ cục bộ, miễn là bộ phận không muốn thấm nitơ không phát sáng, bộ phận không thấm nitơ dễ bảo vệ và có thể bảo vệ phát sáng bằng tấm chắn cơ học và tấm sắt.

5) Bắn phá ion có thể làm sạch bề mặt và tự động loại bỏ lớp màng thụ động. Thép không gỉ và thép chịu nhiệt có thể được thấm nitơ trực tiếp mà không cần loại bỏ lớp màng thụ động trước.

6) Có thể kiểm soát được cấu trúc lớp hợp chất, độ dày và cấu trúc lớp thấm.

7) Phạm vi nhiệt độ xử lý rộng và có thể đạt được độ dày nhất định của lớp thấm nitơ ngay cả khi nhiệt độ dưới 350 độ C.

8) Điều kiện lao động đã được cải thiện. Xử lý thấm nitơ plasma không gây ô nhiễm được thực hiện dưới áp suất rất thấp với rất ít khí thải. Nguồn khí là nitơ, hydro và amoniac, về cơ bản không tạo ra các chất độc hại.

9) Có thể áp dụng cho mọi loại vật liệu, bao gồm thép không gỉ, thép chịu nhiệt có nhiệt độ thấm nitơ cao, thép dụng cụ và các chi tiết chính xác có nhiệt độ thấm nitơ thấp, trong khi thấm nitơ ở nhiệt độ thấp khá khó khăn đối với thấm nitơ bằng khí.