Lý thuyết làm việc：

Bằng cách bơm trước lò để hút chân không và sau đó nung nóng đến nhiệt độ cài đặt, bơm amoniac cho quá trình thấm nitơ, sau đó bơm và bơm lại sau một số chu kỳ để đạt được độ sâu nitơ mong muốn.

Thuận lợi:

So với phương pháp thấm nitơ bằng khí truyền thống. Nhờ hoạt động của bề mặt kim loại trong quá trình gia nhiệt chân không, thấm nitơ chân không có khả năng hấp phụ tốt hơn, rút ​​ngắn thời gian xử lý, tăng độ cứng,chính xáckiểm soát, tiêu thụ ít khí hơn, lớp hợp chất màu trắng dày đặc hơn.