Lọc cacbon chân không là làm nóng phôi trong chân không.Khi nó đạt đến nhiệt độ trên điểm tới hạn, nó sẽ ở trong một khoảng thời gian, khử khí và loại bỏ màng oxit, sau đó đi vào khí lọc cacbon tinh khiết để thấm cacbon và khuếch tán.Nhiệt độ thấm cacbon của quá trình thấm cacbon chân không cao, lên đến 1030 ℃, và tốc độ thấm cacbon nhanh.Hoạt động bề mặt của các bộ phận được thấm cacbon được cải thiện bằng cách khử khí và khử oxy.Tốc độ khuếch tán sau đó quá cao.Carburizing và khuếch tán được thực hiện nhiều lần và luân phiên cho đến khi đạt được nồng độ và độ sâu bề mặt cần thiết.
Độ sâu thấm cacbon chân không và nồng độ bề mặt có thể được kiểm soát;Nó có thể thay đổi các đặc tính luyện kim của lớp bề mặt của các bộ phận kim loại, và độ sâu thấm cacbon hiệu quả của nó sâu hơn độ sâu thấm cacbon thực tế của các phương pháp khác.